產(chǎn)品名稱: 高純硅烷|SiH4|Silane
其他名稱: 單硅烷、硅甲烷、甲硅烷、四氫化硅、Silane、Monosilane、Sil-icon tetrahydride、Silicon hydride.
分子式: SiH4
UN No. UN 2203
CAS No. 7803-62-5
產(chǎn)品純度:99.999~99.9999%,電子級(jí)硅烷,半導(dǎo)體級(jí)硅烷,高純硅烷
包裝說(shuō)明:43L DOT鋼瓶,鋼瓶尺寸23 × 130cm ,316L SS材質(zhì)閥門(mén),閥門(mén)型號(hào)CGA350,10kg/瓶
產(chǎn)品說(shuō)明: 硅烷在常溫常壓下為無(wú)色、有毒、非常活躍的壓縮氣體,。在室溫下著火,在空氣或鹵素氣體中發(fā)生爆炸性燃燒。即使用其它氣體稀釋?zhuān)绻麧舛炔粔虻?仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%、氮?dú)庵泻?.5%、氫氣中含1%時(shí),它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時(shí)不燃,大于3%時(shí)自燃,1%~3%時(shí)可能燃燒。硅烷是強(qiáng)還原劑,與重金屬鹵化物激烈反應(yīng),與氯、溴發(fā)生爆炸性反應(yīng),與四氯化碳激烈反應(yīng)。因此對(duì)硅烷不能使用氟里昂滅火劑。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不與潤(rùn)滑油、脂肪反應(yīng)。對(duì)幾乎所有的金屬無(wú)腐蝕性。有時(shí),玻璃中的堿成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發(fā)生爆炸。硅烷廣泛用于硅的外延生長(zhǎng)、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太陽(yáng)能電池,光導(dǎo)纖維,有色玻璃制造,化學(xué)氣相淀積。
注意事項(xiàng): 工作場(chǎng)所要通風(fēng),保持室內(nèi)空氣干燥。裝置要嚴(yán)格密封,避免和空氣、水分相接觸,為此,用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空,這樣反復(fù)進(jìn)行置換和抽真空,一定要去除系統(tǒng)中的空氣和水分。裝置使用以后,也要用惰性氣體置換清洗系統(tǒng)中的硅烷??梢杂煤ぬ铰┢魈铰?。少量硅烷泄漏時(shí),從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)良好之處,要遠(yuǎn)離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場(chǎng)所要配備足夠的防護(hù)用品及應(yīng)急用品。硅烷本身無(wú)腐蝕性,可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹(shù)脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤(rùn)滑油、玻璃。凡是可燃性的有機(jī)高分子材料應(yīng)該避免使用。當(dāng)硅烷大量泄漏時(shí)。緊接著就要著火,所以無(wú)法用滅火器滅火。但是可以控制火勢(shì),使火災(zāi)不向周?chē)印H紵龝r(shí)輻射熱不太高,所以應(yīng)盡可能去關(guān)閉閥門(mén)以止住氣體的流出??捎冒籽┦刍蚴巯ɑ?。廢氣可用水或堿吸收,或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專(zhuān)門(mén)的過(guò)濾器捕捉。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。應(yīng)與易(可)燃物、氧化劑分開(kāi)存放,切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。密閉操作,局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過(guò)濾式防毒面具(半面罩)。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。